废气净化设备的定期检查是针对实施预防维修的生产废气处理设备在一定时期内所进行的较为全 面的一般性检査，间隔时间较长（多在半年以上），检査方法多靠主观感觉与经验， 目的在于保持废气处理设备的规定性能和正常运转。而状态监测是以关键的重要的废气处理设备（如 生产联动线、精密、大型、稀有废气处理设备，动力废气处理设备等）为主要对象，检测范围较定期 检查小，要使用专门的检测仪器针对事先确定的监测点进行间断或连续的监测检 查，目的在于定量地掌握废气处理设备的异常征兆和劣化的动态参数，判断废气处理设备的技术状态 及损伤部位和原因，以决定相应的维修措施。废气净化设备包括有机废气净化处理系统和无机废气净化处理装置。有机废气净化主要包括各种烃类、芳环烃类、醇类、醛类、酸类、酮类和胺类等。
废气净化设备状态监测是废气处理设备诊断技术的具体实施，是一种掌握废气处理设备动态特性的检查技 术。它包括了各种主要的非破坏性检查技术，如振动理论，噪音控制，振动监测， 应力监测，腐蚀监测，泄漏监测，温度监测，磨粒测试（铁谱技术），光谱分析及 其他各种物理监测技术等。
废气处理设备状态监测是实施废气处理设备状态维修的基础，状态维修根据废气处理设备检査与状态监测结果，确定废气处理设备的维修方式。所以，实行废气处理设备状态监测与状态维修的优点有：①减少因机械故障引起的灾害；②增加废气处理设备运转时间；③减少维修时间；④提髙生产效率；⑤提高产品和服务质量。