气体流量控制器 产品详情
概 述
f400系列采用温度变化对应于质量流量的原理，可以对不同的气体进行流量测量和控制。可应用在5sccm到30slm的气体流量范围，并且不会受到温度及压力变化的影响。
特 点
◎模拟式热质式流量计/流量控制器
-低单价
-环境温度补正
-可应用的流速范围广：
-0~5,10,20,30,50,100,200,500sccm
-0~1,2,3,5,10,15,20,30slm
◎高精度
±1%（≤15slm）
±1.5%（>15slm）
◎可选用lf系列控制模块，具有数位显示、电源供应、流量设定等功能
典型应用
空气、氮气、氩气、氧气、氦气、二氧化碳等。