2、光刻机属于一个各学科集成的产品，泛泛而言，设计到光学、机械加工、电子电路、化学等多个学科知识。
3、光刻机（mask aligner) 又名：掩模对准曝光机，曝光系统，光刻系统等。常用的光刻机是掩膜对准光刻，所以叫 mask alignment system。
4、一般的光刻工艺要经历硅片表面清洗烘干、涂底、旋涂光刻胶、软烘、对准曝光、后烘、显影、硬烘、刻蚀等工序。
5、photolithography（光刻） 意思是用光来制作一个图形（工艺）。在硅片表面匀胶，然后将掩模版上的图形转移光刻胶上的过程将器件或电路结构临时“复制”到硅片上的过程。