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晶圆热电偶

2023/6/5 19:16:07发布30次查看
晶圆热电偶则是直接镶嵌于晶圆表面的温度传感器,可以实现晶圆表面温度的实时测量。借助于放置在晶圆表面特定位置之温度传感器,可获得这些特定位置的真实温度测量值以及整天晶圆温度分布;同时,也可利用此传感器来持续监控在热处理工程中晶圆暂态温度变化,例如:升温,降温过程及延迟周期等!(温度的均匀与否,良率)
晶圆热电偶 产品详情
菘启工业有限公司是中国台湾温度传感器制造公司,于2002年在珠三角地区设立的服务据点松扬温控。菘启工业有限公司在1995年2月于台北成立,拥有:”bs en iso 9001:2000 品质认证”,”isc/iec gode25 温度实验室认证”,”ul iec 17025 二级温度实验室认证”等三大认证。以其*的设备,专业的知识,*的技术,已为国内外广大客户提供温度传感控制方面的解决方案。菘启工业有限公司多次参与中国传感器协会会议,并于会中针对*温度传感技术发表专题研讨。不断的创新与对品质一贯的坚持,是我们宗旨。期望能为广大客户提供优良,高质的服务。菘启工业有限公司——是温度测量控制产品及高温材料供应商,产品应用于航太、半导体、太阳能光伏、led、石油化工也、汽车工业、食品业等高科技产业及传统产业。公司依托中国台湾总公司的强大研发、制造、校验能力;东莞的生产基地以及昆山的技术服务与支持,现已形成全方面的产品设计、开发、制造、校验的系统方案提供商。公司始终坚持为客户创造更多价值;提供稳定可靠的产品;细致专业的服务,让thermoway品牌获得业界更多的认同及尊重
中国台湾菘启工业有限公司设计和制造温度测量解决方案,保证为您提供灵敏度、快速响应和一致的精度。中国台湾菘启工业有限工公司致力于以世界的技术服务及时提供其创新的晶圆热电偶解决方案。
晶圆热电偶则是直接镶嵌于晶圆表面的温度传感器,可以实现晶圆表面温度的实时测量。借助于放置在晶圆表面特定位置之温度传感器,可获得这些特定位置的真实温度测量值以及整天晶圆温度分布;同时,也可利用此传感器来持续监控在热处理工程中晶圆暂态温度变化,例如:升温,降温过程及延迟周期等!(温度的均匀与否,良率)
温度范围:
低温:-150 to 700°c(硅基胶粘剂)
高度:-150 to 1,200°c(焊接设计)
热电偶选型:
● type k (精度级别±1.1°c or 0.4%) ,温度范围 -270 to 1,372°c
● type n (精度级别±1.1°c or 0.4%), 温度范围 -270 to 1,300°c
● type e (精度级别±1.0°c or 0.4%) ,温度范围 -270 to 1,000°c
● type t (精度级别±0.5°c or 0.4%) ,温度范围 -270 to 400°c
● type r/s (精度级别±1.5°c or 0.25%) ,温度范围 -50 to 1,768°c
晶圆材质:
硅、altic、玻璃、陶瓷、碳化硅和其他客户提供的白板的、涂层的或图案基底。可按客户要求定制基板、形状和尺寸。
主要规格:
4寸,6寸,8寸,12寸
扩展线:可指绝缘层材质,接头类型。密封的聚酰亚胺扁平电缆,可在大气中打到10-7托。长度有客户指
传感器引线:长达40英尺–可定制,
被覆材质:石英 陶瓷纤维 tef
绝缘材料:石英,聚四氟乙烯,二氧化硅,陶瓷,聚酰亚胺
线规:20 awg – 40 awg
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