无机高纯气体:
1、空气(air)、氢气(h2)、氧气(o2)、氮气(n2)、氩气(ar)、氦气(he)、氖气(ne)、氪气(kr)、氙气(xe)等;
2、氨气(nh3)、氯气(cl2)、二氧化硫(so2)、一氧化碳(co)、二氧化碳(co2)、二氧化氮(no2)、氧化亚氮(n2o)、氧硫化碳(cos)、氯化氢(hcl)、溴化氢(hbr)、硫化氢(h2s)等;
3、三氟化硼(bf3)、三氯化硼(bcl3)、四氟化碳(cf4)、四氟化硅(sif4)、 四氯化硅(sicl4)、六氟化硫(sf6)等
高纯气体
有机高纯气体
烷烃类:
甲烷(ch4)、乙烷(c2h6)、丙烷(c3h8)、环丙烷(cyc-c3h6)、正丁烷(n-c4h10)、异丁烷(i-c4h10)、正戊烷(n-c5h12)、新戊烷(neo-c5h12)、氯甲烷(ch3cl)、氯乙烷(c2h5cl)、三氟甲烷(chf3)、环氧乙烷(c2h4o)、砷烷(ash3)、磷烷(ph3)、硼烷(b2h6)、硅烷(sih4)等;
烯烃类:
乙烯(c2h4)、丙烯(c3h6)、丙二烯(c3h4==)、1-丁烯(1-c4h8)、异丁烯(i-c4h8)、反-2-丁烯(t-2-c4h8)、顺-2-丁烯(c-2-c4h8)、12-丁二烯(12-c4h6)、13-丁二烯(13-c4h6)、氯乙烯(c2h3cl)等;
炔烃类:
乙炔(c2h2)、1-丁炔(1-c4h6)、2-丁炔(2-c4h6)、甲基乙炔(c3h4)、乙烯基乙炔(c4h4)等高纯气体;