气流的量测表示,除以上所谈的方法外,另外尚有以电脑做数值模拟(simulation)之方法,是利用粒子的质量、运动量、热量等等之法则及状态方程式如连续方程式。navier-stokes运动方程式及温度扩散式等偏微分方程式,利用电脑软体而做气流分布之分析。利用电脑数值模拟法所测之洁净室照明灯具装置支架对气流的影响,亦即形成乱流的情形。
照明具二侧,其风速不同,造成气流的互相干扰,(a)表示气流的分布,(b)系在照明具右侧部分发生微尘粒子,利用微尘的浓度分布表示其入侵、扩散于左侧部分的状态。图形中圆圈的大小表示微尘粒子的浓度。
ic生产线自动行走的运送机器人(ro-bot)运动时所引起的气流乱流和涡流模拟化。图中所示为机器人a向图左方向行走时,后方出面的涡流形状,利用此一结果,更可以将温度分布情况,底座(地面)扬起的微尘分布模拟模型化。由此图中亦可证明出任何运动均会造成气流分布的变化,也影响了微尘之排出率和洁净度,因而生产线上的所有作业人员于走动时中不得不慎。
洁净室内的工作桌等障碍物,在相接处均会有涡流现象发生,相对地在其附近之洁净度(cleanliness)将会较差。但若在工作桌面钻上回风孔,则将使涡流现象减至最低。组装材料之选择是有否恰当,设备布局(layout)之是否完善,亦为气流是否造成涡流现象之重要因素,照明灯具、设备及工作人员所引起之涡流现象。
一般而言,照明灯具所引起之涡流区域长度约为3~4倍灯具之宽度(在风速0.45m/s时)。另外,回风系统的设计不同形式,也会造成气流的变化,由图上可知选择地板及墙板同时回风之系统,对气流之冲击最小。
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