超高分辨率场发射扫描电子显微镜 su9000 产品详情
超高分辨率场发射扫描电子显微镜 su9000
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专门为电子束敏感样品和需大300万倍稳定观察的*半导体器件，高分辨成像所设计。
特点
新的电子枪和电子光学设计提高了低加速电压性能。
0.4 nm / 30 kv (se)
1.2 nm / 1 kv (se)
0.34 nm / 30 kv (stem)用改良的高真空性能和*的电子束稳定性来实现高效率截面观察。采用全新设计的super e x b能量过滤技术，高效，灵活地收集se / bse/ stem信号。
关联产品分类
聚焦离子束系统 (fib/fib-sem)tem/sem样品前处理装置