高速共焦激光扫描显微镜 产品详情
这款高速共焦激光扫描显微镜（clsm），用于精确可靠的三维（3d）测量。通过快速光学扫描模块和信号处理算法实现了实时共焦显微图像,广泛用于微纳尺度的台阶高度测量，宽度测量,长度测量等。广泛用于半导体晶片、平板产品、mems器件、玻璃基板、材料表面等微观三维结构的测量和检测。
高速共焦激光扫描显微镜特点
-高分辨率无损光学三维测量
-实时共焦成像
-各种光学变焦
-同时亮场和共焦成像
-具有精细自动聚焦的自动增益搜索
-倾斜补偿
-简易分析模式
-精密可靠的高速测高
-通过半透明基板检查特征
-无样品制备
-宽范围检测的图像拼接
高速共焦激光扫描显微镜应用
这款共焦显微镜可以测量微纳结构的高度，宽度，角度，面积，体积，比如·
半导体领域：ic图案、凸起高度、线环高度，缺陷检查，cmp工艺
fpd产品：触摸屏检查，ito图案，lcd列间隔高度
mems设备–结构的三维轮廓，表面粗糙度,mems图形
玻璃表面-薄膜太阳能电池，太阳能电池纹理，激光图形
材料研究-工装表面检查，糙度、裂纹分析
高速共焦激光扫描显微镜规格参数
规格显微镜ns-3500remark
控制器 ns-3500e
物镜倍数 10× 20× 50× 100× 150×
观察 /测量范围 水平 (h): μm 1400 700 280 140 93
竖直 (v): μm 1050 525 210 105 70
工作距离: mm 16.5 3.1 0.54 0.3 0.2
竖直孔径 (n.a.) 0.30 0.46 0.80 0.95 0.95
光学放大 ×1 ~ ×6
总放大 178× ~ 26700×
观察/测量的光学系统 小孔pinhole共聚焦光学系统
高度测量（台阶模式） 测量扫描范围 fine scan : 100 μm (and/or) long scan : 7 mm [ns-3800-l] note 1
fine scan : 400 μm (and/or) long scan : 10 mm [ns-3800-d
fine scan : 200 μm (or) long scan : 10 mm [ns-3800-t]
显示分辨率 0.001 μm
重复精度 σ 0.010 μm note 2
宽度测量 显示分辨率 0.001 μm
重复精度3σ 0.02 μm note 3
帧内存 像素计数 1024×768, 1024×384, 1024×192, 1024×96
共聚焦图像图像 12 bit
彩色图像 8-bit for rgb each
高度测量 16 bit
帧频 表面扫描 20 hz to 160 hz
线扫描 ~8 khz
自动功能 自动聚焦
光束光源 波长 violet laser, 405 nm
输出 ~2 mw
激光光源 class 3b
激光探测器 pmt (photomultiplier tube)
数据处理 dedicated pc
供电要求 供电要求 100 to 240 vac, 50/60 hz
电流消耗 500 va max.
重量 显微镜 approx. ~ 8 kg
控制器 ~8 kg
note 1 :fine scan is performed by piezoelectric actuator (pzt).
dual scan mode by fine and long scanner is available only for single lens type.
note 2 :100 times measurement of standard sample (1μm step height) with 100× / 0.95 objective.
note 3 :100 times measurement of standard sample (5μm pitch) with 100× / 0.95 objective.