AirSentry®II电子迁移率光谱仪用于检测空气分子级污染（AMC)，在监测到含酸类.胺类.氨以及氯化物气体时提醒用户。它具有ppt级的灵敏度，传感器反应迅速.监测选择性广.性能稳定。AirSentryII传感器配有中央控制软件，可以轻松地采集分析数据。AirSentryII传感器提供连续可追溯的数据，来快速回应污染源和污染事件。
　　特点
　　酸类和基底（胺类.氨以及氯化物）的高灵敏度检测
　　使用点.多点式.移动式监测应用的通用产品配置
　　体积小，可放在任何位置
　　以太网，RS-232,4-20毫安输出
　　优点
　　连续监测关键点
　　耐久可靠的数据收集.控制.分析
　　长期数据稳定性
　　每份测试成本
　　电子迁移率光谱仪应用
　　在蚀刻技术位置里的实时腐蚀监测
　　在关键的光刻系统内的实时胺类以及氨的监测
　　化学过滤器有效率的资格确认
　　遍及洁净室以及生产工具里的污染源的追踪和去除
　　前端开口片盒圆晶片存储模块内的污染分析
　　电子迁移率光谱仪如有需要欢迎访问
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