激光干涉比长仪 产品详情
激光干涉比长仪是一种采用光电显微镜作为瞄准标尺，激光干涉仪作为测量标尺对线纹尺进行测量校准的仪器，其具有测量精度高、重复性好的特点。该比长 仪能够同时实现玻璃线纹尺和金属线纹尺的检测和校准，并能够直接溯源到激 光波长。该仪器配有自动化数据采集系统，具有实时气压、湿度补偿功能，并且 采用目前流行的usb总线作为数据传输总线。
• 测量范围：（0~1000）mm
• 光电显微镜瞄准重复性:优于0.06μm
• 线纹尺正、反测量的一致性:在测量范围内正、反方向测量值之差小于0.2μm
• 测量不确定度:u99=（0.06+0.1l）μm, l单位为m