日立高分辨型双束系统NX5000

2022/2/6 21:20:00发布75次查看

产品介绍：nx5000新型高分辨fib-sem双束系统采用冷场发射电子枪和全新的aquilaα镜筒，具有高分辨的观察能力；同时大束流的离子枪和实时观察功能使其具有超高的加工效率。独特的第三束（ar
日立高分辨型双束系统nx5000 产品详情
主要特点：
1. 高分辨冷场发射电子枪，实现高分辨观察（0.7nm@15kv）
2. 全新的aquila α镜筒和多探测器实现不同观察目的
3. 大束流（100na）、高稳定性离子枪实现快速加工
4. 实时观察、多探针系统和7轴样品台等技术有效防止窗帘效应
5. 第三束ar的引入实现无损和超薄样品的加工
6. 多种沉积气体可选
7. 全自动tem样品制备
应用领域：
纳米材料微加工
半导体及电子元器件加工
生命科学

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日立高分辨型双束系统NX5000

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