匀胶机 产品详情
匀胶机
匀胶机有很多种称谓,英文叫spin coater或者spin真空吸附,无污染;
台式匀胶机,占用空间小;
具备耐化学性的无缝聚丙烯外罩,并且匀胶机主机易清洗;
聚四氟乙烯(ptfe)的匀胶机可用于强腐蚀性化学材料;
便于程序操作的全尺寸键盘,甚至带着手套都可以方便使用;
可以准确重复运行程序的数字程序控制系统;
高度灵活的多重可编程步骤组成复合程序。
应用范围:
可用于光刻胶(pr),聚酰亚胺(polyimide),金属有机物(metallo-organics),搀杂剂(dopant),硅薄膜(silica film),以及大多数的有机溶液、水溶液;
全自动的匀胶及显影工艺必需的全自动chip生产设备: