工业检查显微镜 产品详情
标配：x=150mm, y=150mm, z=100mm
选配：x: 100mm～400mm;y: 100mm～200mm;z: 100mm-150mm
光学尺分辨率
标配：0.001mm闭式; 选配：0.0005mm闭式,0.0001mm开式
重复定位精度
x,y,z: ≤0.0015mm
重复调焦精度（倍率大于150x）
≤0.0015mm
系统不确定度
分辨率为0.001mm时：x,y: (3.0+2×l/400)/1000 (mm),z≤0.005mm
分辨率为0.0005mm时：x,y: (1.5+2×l/400)/1000 (mm),z≤0.005mm
分辨率为0.0001mm时：x,y: (0.5+2×l/400)/1000 (mm),z≤0.005mm