高温探针台 产品详情
这款高温探针台是为高温环境器件测试或真空环境或气体环境器件探针台分析测试而设计。手动高温探针台可测试50mm x 50mm的晶圆样品，电控或半自动高温探针台可测试100mm或更大尺寸晶圆样品。
高温探针台在真空环境下可测量温度环境高达700摄氏度,在非真空环境下可测650摄氏度。
高温探针台特点
具有手动，半自动或电控探针台配置方案
探针臂可配备额外手动微操作器，方便微纳操作
可配备空气或液氮制冷的热晶圆夹盘
标配7:1x放大透镜管，分辨率可达4微米
可选配12.5:1或16:1x放大透镜管
有效振动隔离
快速制冷和加热选项