晶圆晶锭寿命测定仪 产品详情
晶圆晶锭寿命测定仪是为晶圆晶锭测量少子寿命、光电导率、电阻率和样品平整度及p/n检查任务设计的晶圆晶锭少子寿命测试仪器。采用非接触式检测和无损成像（μpcd /mdp(qss)）设计。
晶圆晶锭寿命测定仪应用
单晶晶圆寿命，多晶晶圆寿命和晶锭寿命测量
适合硅,化合物半导体,氧化物,宽禁带,钙钛矿材料
[ cdte | inp | zns | sic | gaas | gan | ge ]
晶圆晶锭寿命测定仪规格参数
产量：>240块/天或>720片/天
测量速度：对于156x156x400mm标准晶锭， 99%
可重复性:> 99.5%
电阻率：可做面扫描，不需经常校准