ant95-l系列产品保留了原先ant系列产品直接驱动的优势。只有非接触直接驱动技术能够为大量精密设备提供稳定的，高速定位的需求。ant95-l平台使用aerotech倡导的可获得高水平定位性能的先进的直接驱动技术。
机械规格
型号ant130-060-xy-ultra ant130-110-xy-ultra ant130-160-
行程60 mm 110 mm 160 mm
精度±250 nm ±300 nm ±300 nm
机械规格
型号ant95-25-l-zplus
ant95-50-l-zplus
ant130-035-l-zplus
ant130-060-l-zplus
行程25 mm 50 mm 35 mm 60 mm
精度±300 nm ±300 nm ±300 nm ±300 nm
机械规格
型号ant95-3-v ant95-3-v-plus ant130-5-v ant130-5-v-plus
行程 3 mm 3 mm 5 mm 5 mm
精度±2 μm ±200 nm ±2 μm ±200 nm
aerotech 的 ant 系列平台是全球首款具有多种行程的纳米级定位系统。ant95-3-v 和 ant130-5-v 是由线性电机驱动的楔型垂直举
升平台。这些平台可与 ant 系列中的其它平台无缝集成，能够实现卓越的多轴性能。这些平台可提供两种精度等级。
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