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日东电工SPV-224S翻晶膜扩晶膜蓝膜

2019/12/21 11:50:20发布79次查看
日东电工spv-224s(翻晶膜、扩晶膜、蓝膜)的详细描述:适用于深冲过程的表面保护材料通常来说,蓝膜用来保护wafer 在saw时的飞晶;研磨时保护表面以防划伤;固定wafer于工作。在半导体封测里面,膜基本上是用于wafer mount和grinding的制程,用来保护wafer 不被弄碎,并作为承载晶圆的载体。
白膜一般用于12inch wafer ,蓝膜的粘性相对大,对大尺寸的晶圆能更好的保护。但是为了能在die bond是容易pick up,一般都有用uv光照射,一般用于8寸及一下!
在fab里面基本上也是用于承载。

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