senpro 是全新的经济型光谱椭偏仪的代表,操作简易,多角度或单角度入射快速测量并分析数据。
senpro可测量单层膜或多层膜的膜厚、折射率和消光系数。也能够测量各角度入射反射光谱和透射光谱，并同椭偏测量数据结合分析。
使用补偿器，可自动纠正非理想薄膜导致的退偏效应。
senpro带有光谱椭偏仪分析软件spectraray lt，可对系统硬件控制和数据分析，如测量数据、建模、拟合和输出结果。
主要应用:
测量透明薄膜的厚度和折射率（厚度范围0.1 nm - 10,000 nm），可工作于透明或吸收基底。
测量多层膜
分析非晶硅、多晶硅薄膜和soi膜
测量光刻胶的光学常数
分析有机薄膜
测量各向异性材料和薄膜
选项:
手动或自动地貌图扫描样品台
(50 mm x 50 mm ... 200 mm x 200 mm)
spectrray – sentech高端光谱椭偏仪分析软件pc
 

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