20 世纪80 年代末期, si 基sio 2 光波导无源和有源器件的研究取得了长足的发展, 使这类器件不仅具有优良的传导特性, 还将具备光放大、发光和电光调制等基本功能, 在光学集成和光电集成器件方面很有应用前景, 可作为波导膜、减反膜和增透膜。随着光通信及集成光学研究的飞速发展, 玻璃二氧化硅光波导被广泛应用于光无源器件及集成光路中。制备性能良好的用作光波导的二氧化硅显得至关重要。集成光路中光波导的一般要求: 单模传输、低传输损耗、同光纤耦合效率高等。波导损耗来源主要分为材料吸收、基片损耗、散射损耗三部分。通过选用表面粗糙度高、平整的光学用玻璃片或预先溅射足够厚的sio 2 二氧化硅的普通玻璃基片, 使波导模瞬间场分布远离粗糙表面, 以减少基底损耗。激光器用减反膜的研究也取得了很大的进展。
中国工程物理研究院与化学所用溶胶凝胶法成功地研制出紫外激光sio 2 减反膜。结果表明, 浸入涂膜法制备的多孔sio 2 二氧化硅比早期的真空蒸发和旋转涂膜法制备的sio 2 二氧化硅有更好的减反射效果。在波长350 nm 处的透过率达到98% 以上, 紫外区的最高透过率达到99% 以上。该sio 2 二氧化硅有望用于惯性约束聚变( icf) 和x 光激光研究的透光元件的减反射膜。目前在溶胶凝胶工艺制备保护膜、增透膜方面也取得了一些进展。此法制备的sio 2 光学二氧化硅在惯性约束聚变的激光装置中已成为一种重要的手段, 广泛地应用于增透光学元件上, 如空间滤波器、窗口、靶室窗口或打靶透镜。在谐波转换元件kdp 晶体上用溶胶工艺镀制保护、增透膜, 能改善kdp 晶体的工作条件,提高谐波光束的质量与可聚焦功率。thomas 用溶胶2凝胶工艺制备的增透膜和保护膜在美国洛仑兹·利弗莫尔国家实验室已使用多年。
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