是否进口否 | 产地郑州 |
含量0% | 产品名称气体配比器 |
是否危险化学品是 | 产商/产地郑州 |
货号KT | 执行质量标准KT |
CASKT | 品牌科探仪器设备 |
产品用途
气体配比器主要用于气体流量测试,并按比例混合。混合后的气体通过真空测试腔体从而传感器根据不同比例的气氛环境传出不同的模拟量信号。控制方式采用集成化模块控制 功能延伸性强 根据客户要求随意添加
该气体配比器可以外接3或多种气体,采用质子型流量计,气路管道采用316抛光管制作耐腐蚀性强.气路接头采用全不锈钢双卡套快速接头,方便连接且不易泄漏.
1.半导体制造行业中气体流量控制
2.各种真空镀膜设备
3.特种材料表面处理
4.气体燃烧控制
5.混和配气系统
6.泄漏探测系统
7.环境检测与分析设备
8.分析仪器的气体流量计量与控制
9.化工、石化、冶金、光纤熔炼等需要气体检测和控制的场所
产品保证和保修
1.本公司生产的mfc/mfm产品在出货两年以内,如果用户按照说明书要求使用,并且产品没有遭受物理损害、污染、改装或翻新,我们保证产品的材料、加工和性能的质量,若有问题,免费维修。
2.用户收到货物后,有责任检查及核对货物,并通过传真、电话或电子邮件的方式及时通知本公司销售部有关收货情况。
3保修期内,产品必须由本公司或授权的服务中心修理,否则,产品的保修是无效的。
4.在两年保修期以内,维修是免费的。如果保修期过了,在维修前将会通知用户需要更换的部件及维修费用。维修后,在90天以内对修理的部分进行保修,保修件包括易损件 (四氟或密封圈等)。
5.用户使用过有毒、有污染或腐蚀性气体的产品, 如果没有出示清除污染及净化处理的证明,本公司将不负责修理或保修。
保修对使用的要求
a.气体必须洁净且没有颗粒物, 没有液体, 这就要求在mfc/mfm的上游气路中安装<30μm 的过滤器。
b.输入的气体压力必须符合产品的耐压标准, 不能超过该产品要求的压力。
c.产品的使用气体必须与用户订货选择的密封材料相适应, 用户有责任按照可用的安全规章使用每种气体。不正确的使用产品会使保修无效,由于不正确的使用所导致的损害不能 归咎于本公司。
d.对电子线路的要求;必须小心按规定连接系统的接线, 不正确的接线会导致产品内部电路板的永久损坏。若自备mfc电源,需要电压波动小于5mv的高抗干扰稳压电源。
e.气路的连接;必须仔细的安装密封管件, 保证所有的密封管件经过单独检查并且没有划痕。
f.禁止自行拆开mfc/mfm。如果自行拆卸造成损坏,则本公司承诺的保修无效。
主要技术指标
编号
项 目
d07-19bm
1
流量规格
( 0~5,10,20,30,50,100,200,300,500) sccm
( 0~1,2,3,5,10,20,30) slm
2
准确度
±1 % f.s. (20,30slm: ±2 % f.s.)
3
线性
±0.5 % f.s. (20,30slm: ±2 % f.s.)
4
重复精度
±0.2 % f.s.
5
响应时间
≤2sec
6
气压降
<0.02 mpa (2.9 psid)
7
耐压
10 mpa (1450.4 psig)
8
工作环境温度
5 ℃ ~ 45 ℃
9
输出信号
0 v ~ +5.00 v
(输入阻抗大于100k, 输出电流不大于3ma)
10
电源
+15 v 50 ma
-15 v 50 ma
11
外形尺寸
见图4
12
重量
0.7 kg
注意 ; 质量流量计和质量流量控制器出厂通常用氮气(n2)标定。
质量流量的单位规定为;
sccm (标准毫升/分);
slm (标准升/分)
标准状态规定为;
温度 --- 273.15k ( 0°c );
气压 — 101325 pa (760mm hg)
在七星电子 mfc/mfm 产品中心,单位 sccm 和“ml/min, 0°c,1atm”等同,单位 slm 和“l/min, 0°c,1atm”等同。
f.s. (full scale); 满量程值
微信/手机:152 8682 6848
电话:0371-60308298
qq:760625767
联系人:李工
郑州科探仪器设备有限公司
邱女士
15515570926
河南 郑州 中原区 河南省郑州市高新技术开发区长椿路11号国家大学科技园C1F2楼