概述：
流量量程 0~5sccm,10sccm,20sccm,30sccm,50sccm,100sccm,200sccm,300sccm,500sccm,1slm,2slm,3slm,5slm,10slm
产品精度 ±1.5％f.s.
重复精度 ±0.2% fs
线性 ±1％f.s.
响应时间 ≤10sec  气特性≤4sec
工作温度范围 (5~45)°c
耐压 3mpa
输入输出信号 (0~+5)vdc
电源 ±15v
阀类型 常闭
温度系数
零点飘移指标 - 无 -
电气连接 d sub 15 pins female
工作压差范围 (0.1～0.5) mpa
漏率 1×10-8atmcc / sec he（1×10-9 pam3 / sec he）
标准接头形式 双卡套φ8,双卡套φ6,双卡套φ3,双卡套1/8”,φ4(内)×1软管接头,vcr1/4”,双卡套1/4”,φ6(内)×1软管接头
表面化学成分 - 无 -
表面粗糙度 - 无 -
抗电磁干扰 ce
重量   1.1kg

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北京海富达科技有限公司
010-59410797
15330289797
qq: 2850241287