随着微电子机械系统(mems)技术的发展，微小尺寸的半导体传感器得到快速发展。半导体传感器具有体积小、重量轻、精度高、成本低、温度特性好等优点，其制造工艺和半导体平面工艺兼容，满足传感器向智能化和集成化发展的需要。从航空航天、石油化工用的仪器到涡轮发动机、内燃机的监测和控制，越来越多的领域都要求工作温度在200℃以上的压力传感器。常见的高温压力传感器材料有多晶硅、石英、 sic、soi(silicon on insulator)、sos(蓝宝石上硅)等。soi的低压、低功耗、电隔离等优势，提高了传感器对恶劣环境的适应性，基于硅隔离soi技术的耐高温压力传感器得到了广泛应用。相对于硅压阻式压力传感器，电容式压力传感器具有低噪声、高灵敏度、低温漂、动态变化范围大等显著优点。
偏振态调制型光纤传感器
基本原理是利用光的偏振态的变化来传递被测对象信息。光波是一种横波，它的光矢量是与传播方向垂直的。如果光波的光矢量方向始终不变，只是它的大小随相位改变，这样的光称为是线偏振光。光矢量与光的传播方向组成的平面为线偏振光的振动面。如果光矢量的大小保持不变，而它的方向绕传播方向均匀的转动，光矢量末端的轨迹是一个圆，这样的光称为圆偏振光。如果光矢量的大小和方向都在有规律的变化，且光矢量的末端沿一个椭圆转动，这样的光称为椭圆偏振光。利用光波的偏振性质，可以制成偏振调制光纤传感器。在许多光纤系统中，尤其是包含单模光纤的那些系统，偏振起着重要的作用。许多物理效应都会影响或改变光的偏振状态，有些效应可引起双折射现象。所谓双折射现象就是对于光学性质随方向而异的一些晶体，一束入射光常分解为两束折射光的现象。光通过双折射媒质的相位延迟是输入光偏振状态的函数。偏振态调制光纤传感器检测灵敏度高，可避免光源强度变化的影响，而且相对相位调制光纤传感器结构简单、且调整方便。其主要应用领域为：利用法拉第效应的电流、磁场传感器；利用泡尔效应的电场、电压传感器；利用光弹效应的压力、振动或声传感器；利用双折射性的温度、压力、振动传感器。目前最主要的还是用于监测强电流。
人们为了从外界获取信息，必须借助于感觉。
而单靠人们自身的感觉，在研究自然现象和规律以及生产活动中它们的功能就远远不够了。为适应这种情况，就需要传感器。因此可以说：传感器是人类五官的延长，又称之为电五官。
传感器是一种能将物理量、化学量、生物量…等转换成电信号的器件。其输出信号有不同形式，如：电压、电流、频率、脉冲…等，能满足信息传输、处理、记录、显示、控制要求，是自动检测系统和自动控制系统中不可缺少的元件。
传感技术与仪器或仪表技术相关联。
如果把计算机比作大脑，那么传感器则相当于五官。
传感器能正确感受被测量并转换成相应输出量，对系统的质量起决定性作用。自动化程度越高，系统对传感器的要求越高。
在今天的信息时代里，信息产业包括信息采集、传输、处理三部分，即：传感技术、通信技术、计算机技术。
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