气相沉积主要分为两大类:
化学气相沉积(chemicalvapordeposition,简称cvd);
物理气相沉积(physicalvapordeposition,简称pvd)。
最初,人们利用易挥发的液体tici稍加热获得tici气体和nh气体一起导人高温反应室,让这些反应气体分解,再在高温固体表面上进行遵循热力学原理的化学反应,生成tin和hci,hci被抽走,tin沉积在固体表面上成硬质固相薄膜。人们把这种通过含有构成薄膜元素的挥发性化合物与气态物质,在固体表面上进行化学反应,且生成非挥发性固态沉积物的过程,称为化学气相沉积(chemicalvapordeposition,cvd)。
进入21世纪,伴随着现代工业技术的发展,在大多数零件上,不论是外观,还是性能,越来越精细的零件都有了更高的要求。面对这些严格要求,传统的零件加工办法和表面处理技术已经达不到标准。经过长时间的研发,镀钛解决了此类问题。镀钛不仅能够满足人们对于零件的耐磨性、抗腐蚀性、少耗损等等性能的要求,更解决了零件材料经不住处于高温的环境中的问题,成功保持了零件基本不会变形,硬度不会降低的状态。
镀钛是作为金属材料的表面处理的一种工艺,现在已经在工业领域普遍应用并有逐渐推广使用的意向。
离子真空镀膜技术的特点和用途
真空离子镀钛应用的就是pvd技术。
金属在特定环境下(压力,温度,电磁场等)与各种气体(氩d气,氮d气,氧气及乙q气等)产生综合作用形成等离子体,经过加速后,等离子体涌向被镀工件表面,形成牢固的膜层。该镀钛膜层细密均匀,结合力强,硬度高,防腐耐磨,具有良好的导电性和自润滑性能,同时色泽丰富多样,因此真空镀钛不仅是提高材料使用性能的有力手段,在装饰上同样是提升档次,提高附加值的最佳选择。
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