四探针测试原理和电阻率的计算公式
一、工作原理和计算公式
1.双电测四探针法测试薄层样品方阻计算和测试原理如下：
直线四探针测试布局如图8，
当电流通过1、4探针，2、3探针测试电压时计算如下：
四探针测试结构图8
当电流通过1、2探针，4、3探针测试电压时计算如下：
从以上计算公式可以看出：方阻rs只取决于r1和r2，与探针间距无关．针距相等与否对rs的结果无任何影响，
探针可以用于多种的样品的检测
覆盖膜;导电高分子膜，高、低温电热膜;隔热、导电窗膜 导电(屏蔽)布、装饰膜、装饰纸;金属化标签、合金类箔膜;熔炼、烧结、溅射、涂覆、涂布层，电阻式、
硅晶块、晶片电阻率及扩散层、外延层、ito导电箔膜、导电橡胶等材
emi涂层等物质的薄层电阻与电阻率 导电性油漆，导电性糊状物，
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