巨纳集团cvd石墨烯合成系统采用国际先进制造工艺,造型新颖结构合理,安全可靠,可以生长大面积高质量的单层石墨烯薄膜。该系统采用了模块化设计方案,可以按客户需求灵活的为每一个模块选择合适的配置。其集成化控制系统拥有非常友好的人机界面,所有功能实现一体机(触摸液晶屏)显示操作,更方便、快捷;其加热系统能进行多段式温度精准控制,并能实现双向高精度导轨式移动,达到快速降温以及分区域加热;其真空系统可通过微流阀精确控制抽气速率,实现腔体中真空度的精准控制;其流量控制系统采用进口316l不锈钢膜片阀和防爆型压力变送器,利用数字质量流量计实现多路供气;本系统还提供整套气体解决方案,并配备了危险气体泄漏报警系统。
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