基本原理是待测物理量引起光纤中传输光光强的变化，通过检测光强的变化实现对待测量的测量。一恒定光源发出的一定强度的激光注入传感头，在传感头内，光在被测信号的作用下其强度发生了变化，即受到了外场的调制，使得输出光强的包络线与被测信号的形状一样，光电探测测出的输出电流也作同样的调制，信号处理电路再检测出调制信号，就得到了被测信号。这类传感器的优点是结构简单、成本低、容易实现，因此开发应用的比较早，现在已经成功的应用在位移、压力、表面粗糙度、加速度、间隙、力、液位、振动、辐射等的测量。强度调制的方式很多，大致可分为反射式强度调制、透射式强度调制、光模式强度调制以及折射率和吸收系数强度调制等等。一般反射式强度调制、透射式强度调制、折射率强度调制称为外调制式，光模式称为内调制式。但是由于原理的限制，它易受光源波动和连接器损耗变化等的影响，因此这种传感器只能用于干扰源较小的场合。
传感器（transducer/sensor）是一种检测装置，能感受到被测量的信息，并能将检测感受到的信息，按一定规律变换成为电信号或其他所需形式的信息输出，以满足信息的传输、处理、存储、显示、记录和控制…等要求。它是实现自动检测和自动控制的首要环节。 国家标准gb7665-87对传感器下的定义是：“能感受规定的被测量件并按照一定的规律(数学函数法则)转换成可用信号的器件或装置，通常由敏感元件和转换元件组成”。
“传感器” 在新韦氏大词典中定义为： “从一个系统接受功率，通常以另一种形式将功率送到第二个系统中的器件”。根据这个定义，传感器的作用是将一种能量转换成另一种的能量形式，所以不少学者也用“换能器（transducer）”来称谓 “传感器 ”。
电容式压力传感器的温度特性好，所以国内对其温度效应的研究很少。但随着mems技术的发展，人们对传感器的性能要求越来越高，传感器的温度特性也开始受到人们的重视。接触式或非接触式压力传感器都存在一定的温度效应，如果能消除温度影响，保证良好的压力特性，将使得传感器具有更良好的应用前景。介绍基于soi硅／硅键合工艺的接触电容式高温压力传感器的结构及测试装置，通过对传感器真空和大气环境下的高温测试来分析温度对传感器测试结果的影响。
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