排片机ap-800通过map图,打点等标志识别,由顶针系统顶起芯片,通过拾取头拾取芯片,经过视觉精确定位后,将芯片放入到料盒中的装置,可以选装aoi功能,也可选装晶圆到晶圆,料盒到晶圆,料盒到料盒。
设备特点
1.手动放入晶圆和料盒,顶起,拾取及定位为自动操作。
2.对应4、6、8、12英寸晶圆,同时对应芯片陈列排布
3.对应0.15-20mm芯片,最薄30μm芯片,大且薄的必须通过实验验证。
4.可以根据mapping data拾取,也可视觉mark点
5.采用线性电机,拾取速度快,操作稳定。
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