故障处理软件问题质量流量计故障处理——对于刚校验完的流量计安装使用前一定要注意在当前工况下的零点校验，必须保证流量计中充满介质后关闭两端截止阀才能零点标定，具体的方法有很多种，面板操作、手操器以及使用prolinkⅱ软件。
1.零点校准有误。
2.参数设置有误。
3.电源的脉冲波动。
4.i/o组态有误(一定要注意量程)。
5.操作有误
气体质量流量控制器和气体质量流量计的应用范围，mfc和mfm可广泛地应用于石油化工、半导体和集成电路、特种材料学科、医药、环保和真空等多种领域的科学研究和生产中，其典型应用有：电子工艺设备，如氧化、cvd、扩散、外延、等离子蚀刻、离子注入和溅射，以及微反应装置、配气和混气系统、镀膜设备、光纤熔炼、气相色谱仪以及其它分析仪器。
fma-2600a系列质量与体积流量控制器在层流场中使用差压原则来确定和控制质量流速。流量计中的层流元件(lfe)迫使气体进入层流。泊肃叶方程规定，在这一区域体积流速与压力下降呈线性关系。使用压差传感器衡量lfe固定距离中的压力下降情况。同时结合气体的粘度准确判定体积流速。引入单独的juedui温度和压力传感器，并根据一系列标准条件纠正气体流速。这种标准流速俗称质量流速，并使用每分钟标准立方英尺(scfm)或每分钟标准升(slm)等单位表示。该控制器采用连接到流体的真正比例阀，通过一体化pid回路控制器控制流体。标准设备包括0 ~ 5 v输出（可选4 ~ 20 ma）和rs232通讯。可通过前面板键盘或rs232通讯调整气体选择功能和设定值。体积 流量、质量流量、juedui压力以及温度均可以通过rs232连接查看或记录。同时，在距离为46 m (150')的同一串口连接上，最多可与26台设备进行多点通讯。
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