气体传感器说明sno2薄膜气敏器件因具有良好的稳定性、能在较低的温度下工作、检验气体种类多、工艺成熟等优点，是目前的主流产品。此外，fe2o3也是目前广泛应用和研究的材料。除了传统的sno、sno2和fe2o3三大类外，目前又研究开发了一批新型材料，包括单一 氧化物材料、复合 氧化物材料以及混合 氧化物材料。这些新型材料的研究和开发，大大提高了气体传感器的特性和应用范围。
气体传感器样式非电阻型也是一类较为常见的半导体气敏器件，这类器件使用方便，无需设置工作温度，易于集成化，得到了广泛应用。主要有结型和mosfet型两种。
结型气敏传感器件又称气敏二极管，这类气敏器件是利用气体改变二极管的整流特性来工作的。其结构如下图左图所示。它的原理是：贵 pd对氢气具有选择性，它与半导体接触形成接触势垒。当二极管加正向偏压时，从半导体流向 的电子将增加，因此正向是导通的。
气体传感器类型气敏二极管的特性曲线左移可以看作二极管导通电压发生改变，这一特性如果发生在场效应管的栅极，将使场效应管的阈值电压ut改变。利用这一原理可以制成mosfet型气敏器件。
氢气敏mosfet是一种典型?羝骷?钯(pd)制成钯栅。在含有氢气?罩校捎陬俚拇呋饔茫馄肿臃纸獬汕庠永┥⒌筋儆攵趸璧慕缑妫钪盏贾翸osfet的阈值电压ut发生变化。使用时常将栅漏短接，可以保证mosfet工作在饱和区，此时的漏极电流id=β(ugs—ut)2，利用这一电路可以测出氢气的浓度。
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