低温等离子废气净化器和技术是一个集物理学、化学、生物学和环境科学于一体的交叉综合性电子化学技术，有很容易使污染物分子高效分解且处理能耗低等特点。适用范围广，净化效率高，尤其适用于其它方法难以处理的多组分恶臭气体，如化工、医药等行业。占地面积小；电子能量高，几乎可以和所有的恶臭气体分子作用；运行费用低；反应快、停止十分迅速，随用随开。
低温等离子净化器是继固态、液态、气态之后的物质的第四态，当外加电压达到气体的着火电压时，气体被击穿，产生包括电子、各种离子、原子和自由基在内的混合体。放电过程中虽然电子温度很高，但重粒子温度很低，整个体系呈现低温状态，所以称为低温等离子体。
低温等离子净化器内部产生富含极高化学活性的粒子，如电子、离子、自由基和激发态分子等。废气中的污染物质与这些具有较高能量的活性基团发生反应，最终转化为co2和h2o等物质，从而达到净化废气的目的。
低温等离子净化器去除污染物的机理：
低温等离子净化器化学反应过程中，等离子体传递化学能量的反应过程中能量的传递大致如下：
(1)电场＋电子→高能电子
(2)高能电子＋分子(或原子)→(受激原子、受激基团、游离基团)活性基团
(3)活性基团＋分子(原子)→生成物+热
(4)活性基团＋活性基团→生成物+热

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