我们首先要知道一下，无尘车间是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、有害空气、细菌等之污染物排除，并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内，而所给予特别设计之房间。
无尘车间是不论外在之空气条件如何变化，其室内均能俱有维持原先所设定要求之洁净度、温湿度及压力等性能之特性。无尘车间的级别包括1级无尘车间、百级无尘车间、千级无尘车间以及十万级无尘车间等。
每立方米将小于0.5微米粒径的微尘数量控制在3500个以下，就达到了国际无尘标准的a级。目前应用在芯片级生产加工的无尘标准对于灰尘的要求高于a级，这样的高标主要被应用在一些等级较高芯片生产上。微尘数量被严格控制在每立方米1000个以内，这也就是业内俗称级别中的千级。
千级无尘车间的标准，微尘数量被严格控制在每立方米1000个以内，这也就是业内千级无尘车间的意思。（1000级的概念是：每立方英尺内,大于等于0.5的灰尘颗粒不能超过1000颗）。
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