常压烧结法是20世纪90年代初期兴起的一种靶材制备方法,它是采用预压方式(或粉浆浇铸方式)制备高密度的靶材素坯,在一定气氛和温度下对靶材素坯进行烧结,通过对烧结温度和烧结气氛的控制,使靶材素坯晶粒的生长得到有效控制,达到靶材的高致密化及晶粒分布的均匀性。
烧结法的特点:
(1)对粉末的烧结活性有很高的要求,因此对粉体的形状、粒度以及粒度分布要求较严,为了达到要求一般对粉末进行球磨、气流粉碎以及沉降分级处理。
(2)设备成本较低,能生产大尺寸靶材,且易实现工业化生产。
(3)烧结须在o2中进行,且o2的压力不小于1.01?105pa。
(4)制备的靶材一般较薄,所以对靶材变形的控制要求很严,一般要求有很好的净成型能力。
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