1、玻璃、硅片、晶体、塑料、和陶瓷表面的清洁及活化。
这些材料都是无极性的，它们在镀膜、粘合、涂覆、印刷前使用等离子进行清洗处理，不但可以彻底地清除其表面的有机污染物，而且可使其表面活化，增强其表面的粘附能力和浸润能力，使之能够被更加有效地粘合、涂覆和印刷。
常用的气体为：纯净空气、氧气、、氩气、氮气、混合性气体、cf4等。适度的较长时间（15分钟以上）的等离子处理，材料表面不但被活化还会被刻蚀，使之具有最大的浸润能力。
2、金属表面的清洁：金属表面常常会有油脂、油污等有机污染物及氧化层，在进行溅射、粘合、焊接、油漆和pvd、cvd涂覆前可以用等离子清洗器处理来得到完全清洁和无氧化层的表面。等离子清洗器处理后会得到如下效果：彻底清洁表面有机污染物；彻底清除焊接遗留下来的助焊剂，防止腐蚀；彻底清除电镀、粘合、焊接操作时留下的残留物，增强健合能力。
3、多层镀膜过程之间的清洗：多层镀膜过程中时有污染，可以调整清洗器能量档位来对镀膜件在镀膜过程中的污染进行清洗，使下一次镀膜效果更好。
4、其他的如等离子刻蚀、活化和涂镀等。
由于等离子清洗处理的功能和用途如此之多，因此，光学、光电子、光通讯、电子、微电子、半导体、激光、芯片、珠宝、显示、航天航空、生命科学、医学、牙科、生物、物理、化学等各方面的科研和生产都有其应用之处。凡运用其它清洗手段达不到要求的，都可使用等离子清洗来进行再处理，必能达到满意的。
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