洁净室内的工艺设备应选料精良，光洁耐磨，那些转动、滑动部位格外重要，要尽可能地减少磨损及产尘。对于那些产尘的工艺过程要尽可能地将其封闭或设置围挡，并辅以排风，形成局部范围相对于洁净室的负压，以限制污染物向洁净室其他区域扩散。对室内的机器设备定期地进行清洁、擦拭是必要的制度，也是减少积尘二次飞扬的有效措施。
2、不同级别相邻洁净室间的压差
防止从相邻的洁净度较低区域向洁净室传播污染的主要方法是：维持高洁净度区域相对于低洁净度区域、低洁净度区域相对于服务区域、服务区域相对于室外有一个合适的正压值。根据不同的情况，不同级别相邻房间的正压值约为5pa-10pa。让不同洁净度的各级房间维持梯次的压差，目的是当房间门处于关闭情况时，通过缝隙的气流流向是由高级别洁净室流向低级别洁净室、由低级别洁净室流向走廊和服务区，再流向室外。
这样就可减少由室外向服务区域，服务区域向低级别洁净室，低级别洁净室向高级别洁净室传播空气中的悬浮污染物。正压值并非越大越好，许多理论研究和实践都证明，人员、物料通过门时，即便门两侧关门压差高达50pa~60pa，仍难避免随人员、物料向内移动时的携带气流将污染带入室内。特别是当门两侧存在温度差时，门敞开后，即便无人走动，在开口断面部分面积上也存在逆向气流，带入空气的污染物。
此外，过高的正压差还会造成洁净室的门既难开启又难关严，门缝气流造成哨声噪声，以及因气流外溢过量而补风量增加，浪费能源和加重各级过滤器的负担。
3、洁净室送风的过滤
洁净室空调送风系统的末端装置——高效空气过滤器或超高效空气过滤器，在正常情况下能有效过滤经空调机组处理的新风和回风中的颗粒污染物。经高效、超高效空气过滤器处理后的洁净空气送入室内，可有效地排替、冲淡室内污染物，以维持室内的洁净度。
但末级过滤器如有破损或过滤器与支撑框架间的密封出现裂隙，气密性失效，那么未经高效空气过滤器过滤的空气就可能携带大量污染粒子进入室内并随气流扩散，危害影响范围较大。因此洁净室投入使用前的末级过滤器检漏、堵漏或更换工作十分重要。运行过程中防范末级过滤器受损，也十分重要。
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