一、pvd、cvd、pcvd技术现状及发展趋势
各种气相沉积是当前世界上著/名研究机构和大学竞相开展的具有挑战的性的研究课题。目前该技术在信息、计算机、半导体、光学仪器等产业及电子元器件、光电子器件、太阳能电池、传感器件等制造中应用十分广泛,在机械工业中,制作硬质耐磨镀层、耐腐蚀镀层、热障镀层及固体润滑镀层等方面也有较多的研究和应用,其中tin等镀膜刀具的普及已引起切削领域中的一场革命,金刚石薄膜、立方氮化硼薄膜的研究也十分火热,并已向实用化方面推进。在不同pvd、cvd工艺的基础上,通过发展和复合很多新的工艺和设备,如ibad、pcvd与空心阴极多弧复合离子镀膜装置、离子注入与油溅射镀或蒸镀的复合装置、等离子体浸没式离子注装置等不断将该类技术推向新的高度。与国外的发展相比,我国在上述方面虽研究较多,但水平有较大差异,在实用化方面差距更大。
一、技术概述
新型表面功能覆层技术,包括低温化学表面涂层技术及超深层表面改性技术,它运用物理、化学或物理化学等技术手段来改变“材料及其制件表面成份和组织结构”,其特点是保持基体材料固有的特征,又赋予表面化所要求的各种性能,从而适应各种技术和服役环境对材料的特殊要求,因而它是制造和材料学科最为活跃的技术领域,又是涉及表面处理与涂层技术的交叉学科。其最zui大的优势在于能以极少的材料和能源消耗制备出基体材料难以甚至无法获得的性能优异的表面薄层,从而获得最zui大的经济效益,它是一种优质高效的表面改性与涂层技术。
1.因为钛或钛合金无毒五污染,与人体皮肤接触,不会引起过敏等不良反应,因此手表或项链等镀钛后,可以防止人皮肤过敏;
2.真空镀钛或钛的化合物,可以做成金黄、黑色、灰色、红棕色、橙色等很多种颜色,增加美观效果.并且仿金镀膜氮化钛,可以以极少的成本,达到人们喜爱的黄huang金外观;
3.钛或则钛的许多化合物,具有抗酸抗碱抗氧化的功能;
4.钛的许多化合物如氮化钛、钛化钛,不但比一般金属硬度高,而且耐温耐湿、提高表面抗磨损能力;
5.总之,金属零件镀钛的作用实在太大 了.
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