位移传感器又称为线性传感器，它分为电感式位移传感器，电容式位移传感器，光电式位移传感器，超声波式位移传感器，霍尔式位移传感器.数字式位移尺规由数字式位移传感器与计数表示器配套组成。
数字式位移传感器，其测量杆部与移动光栅固定相连，移动光栅与测量杆部同时移动，与移动光栅相隔一定位置设有固定光栅。各光栅按一定间隔印刷有明暗刻度。为了便于根据测量杆移动的方向（+，-方向）进行计数，a与b两个固定光栅，其中b光栅比较a光栅偏移1/4p（波长）。光源透过固定与移动2个光栅投射到感光元件。
如果移动光栅相对应固定光栅产生移动，通过固定光栅的光将会产生明暗的交替变化。此时可以得到2个同周期相位相差90゜的方波信号，根据信号间相位的超前或滞后，即可判断出测量杆移动的方向，进行计数的加，减计算得到测量的位移量。（图2）
数字式位移传感器的输出信号的1p（波长）有为4 μm（分辨率为1 μm型号）或40 μm（分辨率为10 μm型号）类型。计数器按4增倍处理，可将1p（波长）分为4份计算，即可得到1/4p的测量分辨率（1 μm或10 μm）。（不包括hs系列）
＊gs-7000系列的1p（波长）为2 μm
cz611一体化电涡流位移传感器广泛应用于工业生产和科学研究的各个领域。特别是在高速旋转机械中（如：汽轮机组、水轮机组、风机、电机、水泵等设备）得到广泛应用，可用于测量轴向位移、径向振动、摆度、轴转速以及相位。
同时在金属板厚测量、材料鉴定、称重测量、材料形变测量等应用领域也得到广泛应用。
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