直接式
   直接式质量流量计有多种类型，如量热式、角动量式、陀螺式和双叶轮式等。这种仪表适于测量小流量气体，缺点是惰性大，测量值与气体的定压比热有关，测量元件与介质接触，易被沾污和腐蚀。 为双孔板差压式质量流量计。在管道a、b处安装两个相同的孔板。在分流管道中装有两个相同的可产生方向相反的恒定体积流量q的定流量泵。两孔板前后压力差△p=p1-p3=4kρqq，与ρ、q成正比。式中k为常系数，ρ为密度，q为管道体积流量，ρq即为质量流量。双叶轮式质量流量计是在同一直线上前后安装两个倾角分别为x1和x2的叶轮，两叶轮之间利用扭簧连接，流体通过时，两叶轮之间产生一个偏移角x，那么两叶轮间力矩差△m与质量流量qm，流速u，倾角x1，x2存在△m=qm*u*(k1*tgx1-k2*tgx2)的关系（k1和k2为叶片结构尺寸常数），△m=k3*u*qm，(k3=k1*tgx1-k2*tgx2).偏移角x=k4*△m=k4*k3*qm*u;而叶轮组旋转速度u与流体的流速成正比，u=k6*u，则整个叶轮组转过两叶轮偏角x所需的时间△t=x/u=k7*qm.通过专用计数器测量出△t便能得出质量流量qm。
差压式
      差压式质量流量计是以马格努斯效应为基础的流量计，实际应用中利用孔板和定量泵组合实现质量流量测量。常见的有双孔板和四孔板与定量泵组合两种结构。双孔板结构形式如图6所示，在主管道上安装结构和尺寸完全相同的两个孔板a和b，在分流管道上装置两个流向相反、流量固定为的定量泵，差压计连接在孔板a入口和孔板b出口处。
气体质量流量控制器和流量计工作原理，流量传感器采用毛细管传热温差量热法原理测量气体的质量流量(无需温度和压力补偿)。将传感器加热电桥测得的流量信号送入放大器放大，放大后的流量测量电压与设定电压进行比较，再将差值信号放大后去控制调节阀，通过闭环控制来控制通过的流量，并使之与设定的流量相等。分流器决定主通道的流量。
flowmethod气体质量流量控制器（mass flow controller 缩写为mfc）用于对气体的质量流量进行精密测量和控制。它在多个领域科研和生产中有着重要而广泛的应用。
   此低压（dp0.2）之fl-803系列产品主要用在zuida耐压1mpa，差压范围小于10kpa以下的非常规使用客户。并且流量在10slpm-20slpm-50slpm；
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flowmethod气体质量流量控制器（mass flow controller 缩写为mfc）用于对气体的质量流量进行精密测量和控制。它在多个领域科研和生产中有着重要而广泛的应用。
   此系列产品主要用在zuida耐压1mpa，差压范围在0.01-１mpa的常规型客户。可用在真空，色谱，燃烧测试，焊机系列。此产品响应时快，精度高，数字模拟可选；

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