真空中的淬火有气淬和液淬两种。气淬即将工件在真空加热后向冷却室中充以高纯度中性气体（如氮）进行冷却。适用于气淬的有高速钢和高碳高铬钢等马氏体临界冷却速度较低的材料。液淬是将工件在加热室中加热后，移至冷却室中充入高纯氮qi并立即送入淬火油槽，快速冷却。如果需要高的表面质量，工件真空淬火和固溶热处理后的回火和沉淀硬化仍应在真空炉中进行。
真空高压气冷淬火技术
当前真空高压气冷淬火技术发展较快，相继出现了负压（<1×105pa）高流率气冷、加压（1×105～4×105pa）气冷、高压（5× 105～10×105pa）气冷、超高压一（10×105～20×105pa）气冷等新技术，不但大幅度提高了真空气冷淬火能力，且淬火后工件表面光亮度好，变形小，还有高效、节能、无污染等优点。
真空高压气冷淬火的用途是材料的淬火和回火，不锈钢和特殊合金的固溶、时效，离子渗碳和碳氮共渗，以及真空烧结，钎焊后的冷却和淬火。
具有单独冷却室的双室气冷淬火炉的冷却能力优于相同类型的单室炉。2×105pa氮qi冷却的双室炉的冷却效果和4×105pa的单室炉相当。但运行成本、维修成本低。由于我国基础材料工业（石墨、钼材等）和配套元器件（电动机）等水平有待提高。所以在提高6×105pa单室高压真空护质量的同时，发展双室加压和高压气冷淬火炉比较符合我国的国情。
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