太阳能单晶硅片
1.外形尺寸
规 格
对边长度（mm）
对角长度(mm)
弧长(mm)
厚度
6寸
125±0.3
150±0.3
29.75±1
160-200
6.5寸
125±0.3
165±0.3
12.50±1
160-200
8寸
156±0.3
200±0.3
21.81±1
180-220
2. 表面质量
2.1 硅片经超声清洗干燥后，无氧化花纹和色斑。
2.2 硅片表面应平整、光滑，无明显线痕，片体无油污和手印，洁净光亮。
2.3 硅片不允许有裂纹、缺口、空洞。
2.4 硅片端面无“v”形缺口。每片崩边总个数小于1，范围0.3×0.2mm。
3 尺寸偏差
3.1 边长
硅片的边长偏差为正负0.5mm。
3.2厚度
a) 硅片的厚度偏差不大于0.02mm；
b) 根据硅片中心点测量，一批硅片厚度变化应不大于15%。
4. 物理参数
项 目
参 数
p型电阻率 ω . cm
0.5～6
碳浓度atoms/ cm3
≦5×1016
氧浓度atoms/cm³
≤1×1018
掺杂剂
硼
p 型少数载流子寿命 μs
≥10
ttv um
≤30
翘曲度um
≤40
晶向
＜100＞
位错密度 个／㎝3
≤3000

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