产品特点
采用箱式结构，真空系统后置，便于操作和维修；整机表面平整，方便清洁，特别适合放置在净化间内做穿墙式安装。设备真空系统抽速大，具有抽气时间短，真空度高，生产周期短等优点。
采用管状加热器上烘烤，烘烤温度均匀，寿命长，可达到******烘烤温度350℃，烘烤均匀性270℃±10℃。
工件转动采用上部中心驱动，轴承带水冷，磁流体密封，转动平稳可靠。
采用石英晶体膜厚控制仪，可实现镀膜过程的自动控制。
采用先进的镀膜控制系统，人机操作界面美观实用，系统稳定可靠，可实现系统的手动、半自动和全自动操作。
用于生产ir-cut滤光片、分色滤光片、高反射膜、ar膜、长波通、短波通和多种电学薄膜、手机、玻璃和塑胶光学镜片、眼镜片af、as膜的镀膜生产，视窗(玻璃或塑胶)、塑胶片材彩色光学膜的制备。
型号 zzs1100-8g
真空室尺寸(直径×高) φ1100×1300
极限真空度 ≤3.0×10-4pa
恢复真空时间 4.0×10-3pa≤15min
抽气系统 扩散泵tk-500×2
罗茨泵zjp-300
机械泵2x-70
真空测量系统 配三路数字复合真空计，两路低真空，一路高真空
操作方式 手动/自动
工件夹具 φ1040
工件烘烤系统 上烘烤，铠装管状加热器加热，******温度350℃，pid自动控温及显示
蒸发源
电阻蒸发源 电阻蒸发源功率4kw（8v、600a）
电子束蒸发源 e型电子束蒸发源，功率6～10kw
膜厚监控系统 光学膜厚监控，波长范围380-800nm，9ｏ透反射光路，六位电动比较片带显示；石英晶体膜厚监控，美国sqc-310、ic/6
充气系统 自动压强仪2～510-2pa，单路单显，双路双显
设备外形尺寸（宽×深×高） 3870×3600×2670
设备总重（kg） 约3000
地址：广东东莞市茶山镇增埗村麒麟城工业区新益大厦宏诚光学
东莞市宏诚光学制品有限公司
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