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净化空调系统的空气过滤器随运行时间的增加，阻力增大，为保持风量则需调节系统中的风阀。在统调试时系统启动时，为使风机空载启动，则需将风机出口处风阀关闭，风机启动后，因风阀上承受很压力，开启十分困难。采用空气过滤器前后压差的变化控制风机的变频调速装置后，送风量的调节会变十分容易，送风压力稳定。这些监控装置可设计成单个系统的测量，控制系统，也可设计成集散式计算机控制和管理系统。净化空调系统在风机停转无风或超温时，电加热器会继续送电加热，造成设备损坏甚至发生火灾，为避免这种情况的出现，应设置无风以及超温断电的保护。7 空调机房宜在洁净室侧面、空调机房的位置，其位置宜在洁净室的侧面，这不但可以节能，也有利于风道的布置，并使气流组织更加合理，同时，可以节省工程费用。
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然而对于大部分洁净空间，为了防止外界污染侵入，需要保持内部的压力(静压)高于外部的压力(静压)。压力差的维持一般应符合以下原则：
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例如在大规模集成电路生产的光刻曝光工艺中，作为掩膜板材料的玻璃与硅片的热膨胀系数的差要求越来越小。直径100um的硅片，温度上升1度，就引起了0。24um线性膨胀，所以必须有±0。1度的恒温，同时要求湿度值一般较低，因为人出汗以后，对产品将有污染，特别是怕钠的半导体车间，这种车间不宜超过25度。湿度过高产生的问题更多。相对湿度超过55%时，冷却水管壁上会结露，如果发生在精密装置或电路中，就会引起各种事故。相对湿度在50%时易生锈。
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严格来讲，贴膜车间需要百级的无尘车间，实际上很少有厂家真正的做到，很多厂家因为成本的因数，都是在一个万级的车间建设一个洁净棚，以达到洁净度的要求。要通过空调通风系统对空气中尘粒及微生物进行控制，并保证空气清新度（空调结构：有新风，有回风），再对生产物料的洁净度控制、对进入员工的洁净度控制，杜绝污染物的引入、产生以及滞留。
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