★ 高精密花岗石底座和立柱
★ z轴全自动，提高产品对焦速度，满足0.003u对焦测量高度，
★ 外形设计美观，功能设计更为人性化
★ 光杆传动，移动流程，定位准确，运行更平稳
★ 进口直线导轨架设在00级大理石台面上，保证导轨的运行精度
★ 新版手动cnc软件，界面友好，操作简单，稳定性强
★ 可增加探针测量模组
型号
vme250
vme300
工作平台尺寸（mm)
300*230
420*300
测量行程（mm)
250*200*200
300*200*200
全机尺寸（mm）
140*650*1250
1400*650*1350
机台重量（kg）
430
镜头
手动定位镜头或全自动navitar变焦镜头
放大倍率
光学放大倍率：0.7x-4.5x，影像放大倍率：28x-145x
ccd
高清晰彩色1/2 ccd(可选配220万像素ccd)
灯源
上表面灯：分区控制40相灯 白色；下轮廓灯：led近平行光灯 白色
三基色可选（白、红、绿）
控制方式：软件控制
光学尺解析度（μm)
1（0.5可选）
x、y轴精度（μm)
（2.8+l/250）
x、y轴重复性（μm)
2
机台承重（kg)
30
机台底座和立柱材质
高精度花岗岩
操作方式
手动+半自动
传动方式
光杆传动
马达控制方式
z轴智能一体化控制（鼠标）
最大运行速度（mm/s)
z轴:100
加速度
z轴:200
软件
optoc mfpro
保修期
一年
使用环境
电源：110v-220v±10% 50/60hz，温度：20±5℃，湿度：45%-75%
环境要求：标准环境温度：18 - 22℃环境温度变化：1℃/h - 2℃/24h温度梯度：1℃/m相对湿度：55% - 65%供气要求：空气压力：0.4 - 0.5mpa空气流量：150nl/min过滤精度：0.3μm电源要求：电压：220v/50hz功耗：1500v
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