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    质量流量计(mass flow meter 缩写为mfm)用于对气体的质量流量进行精密测量；质量流量控制器(mass flow controller缩写为mfc)用于对气体的质量流量进行精密测量和控制。它们在半导体微电子工业、特种材料研制、化学工业、石油工业、医药、环保和真空等多种领域的科研和生产中有着重要的应用。其典型的应用场合包括； 电子工艺设备，如扩散、氧化、外延、cvd、等离子刻蚀、溅射、离子注入；以及真空镀膜设备、光纤熔炼、微反应装置、混气配气系统、毛细管测量、气相色谱仪及其它分析仪器。
主要技术指标
编号
项     目
d07-19bm
1
流量规格
( 0~5,10,20,30,50,100,200,300,500)  sccm
( 0~1,2,3,5,10,20,30)      slm
2
准确度
±1 % f.s.   (20,30slm:  ±2 % f.s.)
3
线性
±0.5 % f.s.  (20,30slm:  ±2 % f.s.)
4
重复精度
±0.2 % f.s.
5
响应时间
≤2sec
6
气压降
<0.02 mpa    (2.9 psid)
7
耐压
10 mpa   (1450.4 psig)
8
工作环境温度
5 ℃ ~ 45 ℃
9
输出信号
0 v ~ +5.00 v
(输入阻抗大于100k, 输出电流不大于3ma)
10
电源
+15 v   50 ma 
－15 v   50 ma
11
外形尺寸
见图4
12
重量    
0.7 kg
注意 ； 质量流量计和质量流量控制器出厂通常用氮气(n2)标定。
质量流量的单位规定为；
sccm (标准毫升/分)；
slm (标准升/分)
标准状态规定为；
温度 --- 273.15k ( 0°c )；
气压 — 101325 pa (760mm hg)
在七星电子 mfc/mfm 产品中心，单位 sccm 和“ml/min， 0°c,1atm”等同，单位 slm 和“l/min, 0°c，1atm”等同。
f.s. (full scale)； 满量程值
产品保证和保修
1.本公司生产的mfc/mfm产品在出货两年以内，如果用户按照说明书要求使用，并且产品没有遭受物理损害、污染、改装或翻新，我们保证产品的材料、加工和性能的质量，若有问题，免费维修。
2.用户收到货物后，有责任检查及核对货物，并通过传真、电话或电子邮件的方式及时通知本公司销售部有关收货情况。
3保修期内，产品必须由本公司或授权的服务中心修理，否则，产品的保修是无效的。
4.在两年保修期以内，维修是免费的。如果保修期过了，在维修前将会通知用户需要更换的部件及维修费用。维修后，在90天以内对修理的部分进行保修，保修件包括易损件 (四氟或密封圈等)。
5.用户使用过有毒、有污染或腐蚀性气体的产品， 如果没有出示清除污染及净化处理的证明，本公司将不负责修理或保修。
保修对使用的要求
a.气体必须洁净且没有颗粒物， 没有液体， 这就要求在mfc/mfm的上游气路中安装<30μm 的过滤器。
b.输入的气体压力必须符合产品的耐压标准， 不能超过该产品要求的压力。
c.产品的使用气体必须与用户订货选择的密封材料相适应， 用户有责任按照可用的安全规章使用每种气体。不正确的使用产品会使保修无效，由于不正确的使用所导致的损害不能 归咎于本公司。
d.对电子线路的要求；必须小心按规定连接系统的接线， 不正确的接线会导致产品内部电路板的永久损坏。若自备mfc电源，需要电压波动小于5mv的高抗干扰稳压电源。
e.气路的连接；必须仔细的安装密封管件， 保证所有的密封管件经过单独检查并且没有划痕。
f.禁止自行拆开mfc/mfm。如果自行拆卸造成损坏，则本公司承诺的保修无效。
联系电话：0371-60308298
手机/微信：152 8682 6848
qq:760625767
联系人：李娇

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