abl9000气浮平台
1世上**性能的气浮平台,适用于晶片,平板显示,光学检测和加工等要求苛刻的场合2所有轴全预加负载气浮导轨(空气轴承)3行程达1.2米x1.2米4y轴双直线电机驱动5直线编码器或激光干涉仪反馈6主动控制偏转行程≤1200mm精度±0.50um重复定位精度±0.10um直线度±0.50um平面度±0.50um相关文档下载
ahl9000直线电机平台
1专为晶片检测，平板显示加工和光学检测及制造应用设计2扫描轴是空气轴承，步进轴是机械轴承3行程达1.2米x1.2米4双直线电机驱动步进轴5直线编码器或激光干涉仪反馈行程≤350mm精度±1.0um重复定位精度±0.20um直线度±0.60um平面度±0.60um相关文档下载
abg10000气浮平台
1气浮导轨实现超平滑运动2所有轴都预加载荷3下面轴采用双无刷直线伺服电机驱动3行程达1mx1m4非接触直线编码器(光栅)5可选z轴,隔振,机械底座和控制箱6适用于高速拾取/放置,自动化装配,视觉检测,点胶机,高精度检测．travel行程≤1000mmaccuracy精度±2.0umload负载84kg相关文档下载
fibercouple130平台
1同一条导轨上两个运动平台2独立或并列运动32.5nm分辨率4非接触直线电机驱动5交钥匙的配套驱动和控制系统6适合辅助轴相关文档下载
vasculatheacs/asr
1.直线平台与旋转平台的高度集成化2.er筒夹系统使材料箝位自动化3.可选夹紧装置夹紧管4先进的控制系统结构5.单或双主轴结构6.可选择湿切割7.拥有两项专利patentno.7,038,334patentno.7,105,956相关文档下载
laserturn
1.直线平台与旋转平台的高度集成化2.气动3爪卡盘或er筒夹3.较大的通孔可以使产品通过4.可选择在前后加工的平台5.直接驱动直线和旋转电机技术相关文档下载
planarhd气浮平台
1**2m/s扫描速度和5g加速度的输出2最快的转向和最小的稳定时间3主动偏转控制4直线光栅或激光干涉仪反馈5行程1.2mx1.2m行程≤1200mm精度±300nm重复定位精度±50nm分辨率0.25nm相关文档下载
apt系列平转和倾斜组合转台
1满足安全，国防建设和监测全球市场的需要2把先进的高精密机械与业界领先的控制技术结合在一起3惯性稳定4包含内置滑环，可连续旋转360°5高定位精度和速度性能6易于安装和系统集成的集成电路7低维护，高可靠性提供最低的拥有成本平转：**速度180°/秒，持续360°倾斜：**速度180°/秒，范围为±95°位置分辨率：7.6弧秒定位精度：120弧秒有效载荷：35公斤相关文档下载
smp
1，同时进行顶部和侧面的3d表面测量2，提高产量3，节省时间和经费
agv振镜
1，光学反馈装置提供优秀的热稳定性2，使用aerotech的nmarkcls控制器，可以实现工业级**的24位分辨率3，光圈和焦距的范围广4，多选择的镜面处理适应于多种激光波长
ant系列纳米技术平台
1，大行程2，高动态性能3，高精度4，高分辨率5，易使用软件

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北京微纳通科技有限公司（华南区）
覃献文
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