真空设备的选择要根据所要热处理的零件化学成分和加热温度实现，必须满足金属氧化物与一氧.化碳平衡分解压的关系，并且要考虑一定的余地，不要过分追求高真空，真空度过高不仅会造成合金元素的挥发，而且会造成设备的配置提高、投.资费用增加。
真空炉加热元件的形式和材料有一定的不同。一般以板式和棒式为主，材料为高质量石墨。近年来cfc(碳碳)复合材料的出现表现出较大的技术优势，有取代石墨的趋势。同样功率的情况下cfc材料厚度薄、相对蓄热小、有利于提高冷却速度。.
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在真空条件下进行金属与合金熔炼的特种熔炼技术。主要包括真空感应熔炼、真空电弧重熔和电子束熔炼。随着现代科学技术的飞跃发展，特别是伴随着宇航、海洋开发、能源开发及电子工业的迅速进展，对金属材料(高级合金钢及合金)的品种、产量、尤其是质量提出了越来越高的要求。
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