采用全站仪数字化测图过程中，主要是将全站仪架在图根的控制点上，从而能够准确的测量出测站与镜站之间的垂直角、水平角以及距离等，然后通过相关计算得出碎部点的坐标。因此影响碎部点测量精度的因素主要有测距中误差和测角中误差，而影响测距中误差的主要因素有仪器本身的误差、棱镜误差、测站与镜站偏心的误差以及棱镜安置误差等。影响测角中误差的主要因素有望远镜照准误差、仪器垂直轴误差、读数误差、外界条件的影响、目标偏心误差以及测站偏心误差等。影响碎部点测量高程度的主要因素有垂直角观测、测距、仪器高以及目标高的量取等。而影响垂直角观测的主要误差来源于读数误差、自动补偿误差、照准误差、外界条件影响等。
全站仪是一种比光学经纬仪更为先进的工程测量仪器，相比之下它对地形地貌的适应性更强，测量精度更高，而且使用更为方便，大大提高了测绘工作效率，因此已被广泛应用于建设工程各领域。全站仪使用的主要特点就是根据已知的坐标基础数据，在实地测设出相应点位。通常仪器在可视距离范围内，只需在一个测站上就能完成一个区域的测量放样工作。
全站仪与水准仪测量相比的优点
1）测量速度快、精度高。利用全站仪进行测量一测站能达到几百米，而水准仪测量一测站最远不能超过100米，最短时测站之间只有几米，有时用全站仪只需测一站而水准仪就得测十几站，所以利用全站仪进行测量要比水准仪节省大量的时间，而且减少了人力、物力的耗费。
2）利用水准仪进行测量，两水准点间距离比较短。用全站仪进行测量的测段距离基本是水准测量边长的2倍，用水准仪进行测量的测段距离一般是两点间边长的1.5～2倍。但当两种仪器的测量结果都满足测量精度的标准时，因为利用全站仪进行测量时避免了不需要测量的测段距离，在平差计算中测段距离代表权，权是比较真实的，权在证明平差结果时客观、可靠，提高了测量精度。
3）受仪器、人为及外界因素的影响小。因为利用全站仪进行测量时前后视应用对中杆三角架进行瞄准，避免了扶水准尺的过程中人为因素造成的影响，而且当转点的时候，对中杆可以直接插在地面上，测量过程中的仪器沉降量要比水准测量中尺垫的沉降量小很多；在外业测量的过程中，数据的读取由仪器直接显示，避免了利用水准仪读数时人为估读引起的误差。
4）内业、外业的计算工作量小。用全站仪进行测量时，只要记录前后视距的边长和高差，不但记数少而且记录简洁明了；而利用水准仪测量还得记录黑红面尺的上下中丝的读数，且记录和计算检核过程比较复杂。而用全站仪进行测量的内业处理及平差计算比较简单，不容易出现错误。
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