i佳的环保前景,近年来用量有明显的提高。
据权i威机构预测,2010年我国将成为仅次于美国的世界第二大集成电路市场,六氟化硫供应商,总需求量约为500亿美元。目前国内使用高纯六氟化硫作为蚀刻气的生产线约有50条左右预计。2016年将达到700吨左右,
国内使用六氟化硫作为蚀刻气的生产线有近50条,六氟化硫,在未来的五年预计将有20条至30条新线建成。每年约消耗高纯六氟化硫为600吨左右。而国内高纯六氟化硫产品远远不能满足市场需求,半导体厂家所用高纯产品大部分依赖进口,六氟化硫价格,这给高纯六氟化企业提供更多的发展机遇。
六氟化硫介绍
六氟化硫是一种无色、无臭、无毒、不燃的惰性气体,它的分子量为146.07,六氟化硫公司,在20℃和0.1 mpa时密度为6.1kg/m3,约为空气密度的5倍。六氟化硫在常温常压下为气态,其临界温度为45.6℃,三相点温度为-50.8℃,常压下升华点温度为-63.8℃。六氟化硫分子结构呈八面体排布,键合距离小、键合能高,因此其稳定性很高,在温度不超过180℃时,它与电气结构材料的相容性和氮气相似。
纯净的sf6气体虽然无毒,但在工作场所要防止sf6气体的浓度上升到缺氧的水平。sf6气体的密度大约是空气的五倍、sf6气体如有泄漏必将沉积于低洼处,如电缆沟中。浓度过大会出现使人窒息的危险,设计户内通风装置时要考虑到这一情况。
高压击穿技术。
dian击穿技术是从sf6在电力上的典型应用——作为绝缘气体应用在gis开关柜中演变而来的。其工作原理是根据sf6气体绝缘的特性,从置于被检测空气中的高压电极间dian压的变化来判断空气中是否含有sf6气体。因其结构相对简单,成本低,检测精度相对高的特点。
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