- 是否提供加工定制：
- 类型：
- 型号：RTP1200
- 品牌：成仪
- 加热功率：
- 电源频率：
- 电源相数：
- 电源电压：
- 重量：
- 产品认证：
- 外形尺寸：
- 工作室尺寸：
- 装载量：
- 炉膛尺寸：
- 空炉升温时间：
- 额定温度：
- 主要用途：
快速热处理退火炉简称rtp（rapid thermal processingfurnace），由我公司借鉴了国际先进制造工艺，在管式炉的基础上自主研发而成，不但拥有极快的升温速率500℃/s，而且降温速率也有了质的飞跃100℃/s。我们的工程师们巧妙地利用了冷壁工艺，以至于达到如此快的降温速度。真正的极速升温和极速降温！
腔体采用了独有双层石英管结构，外层管进气，内层管出气，使得反应气氛与加工样品充分而均匀地接触。
加热灯管之所以能够让硅片快速升温，是因为光源波长在0.3-4微米之间，石英管壁无法有效吸收这一波段的辐射，而晶片则正好相反。因此，晶片可以吸收辐射能量快速加热，而此时石英管壁仍维持低温，即所谓冷壁工艺。
ø 快速热退火 (rta); 离子注入后退火
ø 石墨烯等气象沉积，碳纳米管等外延生长
ø 快速热氧化 (,rto); 热氮化 (rtn);
ø 硅化 (silicidation);
ø 扩散 (diffusion);
ø 离子注入后退火 (implant annealing);
ø 电极合金化 (contact alloying);
ø 晶向化和坚化 (crystallization and densification);
河南成仪实验室设备有限公司
宋晨
15637176302
未来路商城路首座国际广场