- 是否提供加工定制:
- 输入电压:
- 空耗功率:
- 恒定温度:
- 产品认证:CCC
- 最大装载量:
- 加热功率:
- 品牌:福润德
- 型号:frd-500
- 相数:
- 电源频率:
- 额定温度:
- 炉膛尺寸:
- 适用范围:
- 额定电压:
- 外形尺寸:
- 重量:
- 工作室尺寸:
- 最大电压:380
- 主要用途:合金,退火
1.设计温度:1200℃
2.炉膛材质:优质气炼石英管
3.恒温区:根据客户要求(恒温区内温差±1℃)
4.控制温区点数:石英管外3个测温点,采用3支铂铑热电偶;石英管内1个固定测温点,采用k型热电偶;石英管内1个可移动测温点,k型热电偶,用于测量温度分布及校准。
5.加热元件:优质电阻丝
6.最大加热功率根据工艺要求而定
7.气路配件材料卡套密封;两路气体采用质量流量计控制,方便设定气体流量。
8. 极限真空预抽真空 :一级机械泵2x—4(1.0pa 10min)
9. 外形参考尺寸可定
10. 控温精度:±1℃。
11. 电源:三相五线制,ac380v 50hz。
12. 温控表:日本岛电,25段可编程序。
13. 控制方式:过零触发。
14. 真彩触摸屏+plc程序控制
15. 气路系统气密性:1×10-7 pa·m3/s
16. 最大升温速率:15℃/min
17. 质量流量计精度等级:0.2%fs—0.5%fs:
18. 质量流量计测量范围:依据客户工艺选择
19. 每台流量计前各有一个过滤阀
20. 每条管路各配有一个单向阀来杜绝气体的倒流。
21. 工作腔体压力通过数字真空计直观显示。
22. 工艺气体在进入工作腔体前经过混气包来实现工艺气体按比例混合
23. 所有气路管件包括阀门均采用耐腐蚀不锈钢(可耐h2s气体高温工作环境)
青岛福润德微电子设备有限公司
颜廷福
18266617134
城阳区北万工业园
