测厚仪
                        全球非接触法测量厚度专家----------全球超过500家客户
一．应用领域： 
1.光电子行业：
（1）      透镜中心厚及胶合间隙测量
（2）      单件元件厚度控制（特别适用于红外材料，测量厚度控制平行度）
（3）      平板玻璃厚度测试：浮法玻璃、液晶平板
2.薄膜行业：测量塑料薄膜的厚
3.医疗行业：测量滴液管、塑料管壁厚、直径等
二.测量原理：
               图（1）
图（2）
lumetrics厚度测量系统的测量原理是采用了短相干光源的迈克尔逊干涉仪。如图（1）、（2）lightsource(短相干光源)发出短相干光束,经beamsplitter分束成两束光，这两束光通过准直仪聚焦到measurement  arm(测量臂) 和reference  arm(参考臂)上，在测量臂段，光束经待测物前后两表面反射产生两束反射光；在参考臂段，光束被delayline(延迟线路)中的扫描参考镜反射。各反射光束经光纤返回到beamsplitter中，此时扫描反射镜反射的光束分别与r1和r2两束光发生干涉产生两干涉信号经探测器(光电二级管)转换为电信号再由显示仪显示。参考镜位置可以精确移动，当干涉仪的测量臂与参考臂光程相等时，才能够发生干涉。这样通过监控参考镜的移动，就可以测量被测镜的位置。
三．性能参数：
optigaugesls™
optigaugemls™
optigaugeems™
测量范围
12μm to 5mm
12µm to12mm
12µm to50mm
最多可测量层数
1
20
20
绝对精度
±0.1μm
±0.1µm
±0.1µm
重复精度
0.1μm 1σ
0.1µm 1σ
0.1µm 1σ
测量时间
50hz
50hz standard, 100hzand 200hz optional
20hz
光源
1310nm sled – 45 nmwide
1310nm sled – 45 nm wide
1310nm sled – 45 nmwide
测量头工作距离
25mm and50m
25mm and50mm
50mm &15
光纤长度
3m standard, up to1000m maximum
3m standard, up to1000m maximum
3m standard, up to1000m maximum
lumetrics产品被广泛应用于各行各业，lumetrics既可以提供独立的测量头，也可以组合成各类测量设备，下面是一些实例：
此外，lumetrics产品还被集成在各种设备中，广泛应用在各工业领域，下图是一些实例：
用于检查硅片键合质量
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